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1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度） 5设备工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。

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提拉式单晶炉在节能减排方面的主要目标包括，非化石能源占一次能源消费比重达到11.4%，单位国内生产总能源消耗降低16%，单位国内生产总值二氧化碳排放降低17%。要达到这样的目标，需要调用一切有效的手段，而光伏发电无疑是一种极好的选择。纵观能源利用现状，以及为实现“十一五”节能减排目标所作出的努力，在未来的节能减排目标上仍面临着重大的挑战。99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ，是在硅结晶生长始时 ，用低速提拉，生长过程均速提拉的法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ，随着 IT产业的迅速发展 ，单晶硅生产市场需求剧，研制一种满足工艺要求，低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料的 一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 本文结合某单晶炉产品的研制 经折算后 (见下节式 ( 3) )。